主泵可以理解为增压泵,用来提高机械泵的真空度跟抽气量。像罗茨泵,扩散泵,分子泵等。这些本身不能使用(压差太大)所以需要机械泵预抽,将真空室内抽成粗真空,然后主泵开始工作。
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